Исследование изменений рассеяния рентгеновских лучей упорядоченными дислокационными структурами в процессе деформа ционного старени

摘要

Впервые использована трехкристальпая рентгеновская ди-фрактомптрия для изучения деформационного старения специально введошплх параллельных дислокаций в образцы кремния, выращенного по методу Чохральского. Полученные экспериментальные результаты свидетельствуют об изменении интенсивности рассеяния рентгеновских лучей на состарившихся образцах. Определены величины статического фактора Дебая-Валлера, размеры и концентрация рассеивающих рентгеноп-ское излучение коагулянтов и изменение -этих характеристик при старении кристаллов. Построены соответствующие контуры равной интенсивности вблизи узл <1 (111) обратной решетки. Сделан вывод о стимулировании дислокациями процессов распада твердого раствора кислорода в кремнии.