Исследование зависимости пьезоактивности пленок оксида цинка of условий синтеза в критических режимах тлеющего разряда

摘要

Представлены результаты исследования влияния давления газов в магне-тронной распылительной системе (МРС) при синтезе пленок ZnO на эффек-тивность возбуждения объемного гиперзвука. Эксперименты проведены при давлениях, близких к переходу тлеющего разряда в МРС в таунденсовский, где длина свободного пробега ионов и электронов возрастает и появляется дрейфовая компонента в потоке осаждаемых частиц. Показано, что в этих условиях возрастает эффективность возбуждения гиперзвука (частота > 1 GHz), что авторы связывают с уменьшением текстуры зарождения и.возрастанием плотности пленки. Выводы сделаны на основании сравнения со свойствами пленок, полученных в классическом диффузном тлеющем разряде.