КВАНТОВОХИМИЧЕСКОЕ ИССЛЕДОВАНИЕ АДДУКТОВ ГАЛОГЕНИДОВ КРЕМНИЯ С АЗОТСОДЕРЖАЩИМИ ДОНОРАМИ III. ЭНЕРГЕТИКА РЕАКЦИЙ АММОНОЛИЗА И КОМПЛЕКС

摘要

Методом функционала плотности B3LYP проведены расчеты термодинамических характеристик процессов элиминирования галогеноводородов в системах SiX_4-NH_3- Рассмотрена роль аддуктов и олигомерных форм соединений, содержащих связи Si-N. как интер-медиатов в процессах получения нитрида кремния методом газофазного химического осаждения. Экспериментально показано протекание реакции аммонолиза при взаимодействии тетрахлорида кремния с аммиаком в неводных растворителях.