Представлены теоретические и методические основы использования компьютерных оптических сканеров для контроля сверхтонких поверхностных слоев и пленок. Расчеты и эксперимент показывают, что полученные на обычном сканере цифровые оптические изображения поверхности металла с поверхностным слоем позволяют исследовать его толщину с высокой точностью, вплоть до 1 нм и менее. Метод успешно протестирован независимым эллипсометрическим методом для неразрушающего контроля коррозионного слоя на поверхности хромистой стали Х18Н10Т после часовых коррозионных испытаний на воздухе при температурах от 100 до 300℃. Будучи высоко чувствительным к тонким слоям, он позволяет достичь высокой производительности коррозионного контроля путем одновременного исследования большого числа образцов.
展开▼
