Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

Ч. п. ВОЛК; Ю. А. НОВИКОВ; А. В. РАКОВ; П. А. ТОДУА

首页> 外文期刊>Измерительная техниκа >Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

【24h】

Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

机译：在高低压扫描电子显微镜上测量微结构和纳米结构浮雕元件的线性尺寸

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

掌桥外文数据库（机构版） >>

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

Проведены измерения ширины линии одного и того же тест-объекта на высоко- и низковольтных растровых электронных микроскопах.

机译：在高压扫描电子显微镜和低压扫描电子显微镜上对同一测试对象的线宽进行测量。

著录项

来源
《Измерительная техниκа》 |2009年第1期|共3页
作者
Ч. п. ВОЛК; Ю. А. НОВИКОВ; А. В. РАКОВ; П. А. ТОДУА;
展开▼
作者单位

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类计量学;
关键词
scanning electron microscopes; test-object; linewidth; linear dimensions of relief structures;

机译：扫描电子显微镜;测试对象;线宽;浮雕结构的线性尺寸;

相似文献

中文文献
专利

Измерение линейных размеров рельефных элементов микро- и наноструктур на высокои низковольтных растровых электронных микроскопах

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅