Представлены текущее состояние, направления и перспективы разработок инструментов нанотехнологии на основе сканирующих зондовых устройств. Рассмотрены некоторые характеристики сканирующих зондовых микроскопов, зондовых лабораторий и зондовых фабрик. Приведены примеры отечественных разработок зондовых приборов.
展开▼
