Синтез нитридов и карбидов интерметаллида систем Ti—Al на поверхности деталей плазменными потоками, генерируемыми вакуумной дугой

摘要

Рассмотрены результаты исследования покрытий, формируемых с помощью вакуумной дуги с интегрально-холодным катодом. Приведены результаты взаимодействия потоков титана и алюминия на холодных и горячих подложках в среде различных газов. Осажденные покрытия исследованы с помощью рентгеноструктурного и оптического методов. Установлено, что покрытия состоят из Ti, Al, интерметаллида Ti—Al, нитридов и карбидов интерметаллида Ti—Al.