Abpumpverhalten von Roots- und Schraubenvakuumpumpen

摘要

Kombinationen von Rootspumpen- und Schraubenvakuumpumpen ermöglichen in industriellen Vakuumanwendungen ein hohes Saugvermögen bei gleichzeitig kompakten Abmessungen und effizientem Energieeinsatz. Beim Einsatz dieser Pumpkombination zur Behlterevakuierung hat die Art der Lastregelung der Rootspumpe einen großen Einfluss auf die Evakuierungszeit und die erzielte Energieeffizienz. Die Einsatzgrenzen von Rootsgeblsen in der Vakuumtechnik werden erlutert und Maßnahmen vorgestellt, die eine Überlastung der Maschine verhindern.Pump down characteristic of Roots pump combinationsCombinations of roots pumps and screw type vacuum pumps are often used in industrial vacuum applications because of their high pumping capacity, their compact dimensions and their good energy efficiency. In load lock applications, the type of load control has a high influence on the evacuation time as well as on the energy efficiency of the pump combination. The operation limits of roots pumps are discussed and means to prevent an overload of the pump are introduced.