Microscopie Auger à balayage principe et artefacts

摘要

The final goal of Scanning Auger Microscopv (SAM) is to obtain elemental maps of the various components of a specimen surfa e and to permit a local point analysis with the best lateral resolution. With respect to conventional Auger Analysis (AES) this goal leads to new constraints for the background substraction, the spatial change of the Auger backscattering factor and the processiong of the whole data set. In addition aretefacts associated to topographic effects are more difficultt to overcome.%Le but de la microscopie Auger à balayage (SAM) est d'acquérir les cartographies des différents éléments constituant la surface de l'échantillon et de permettre une analyse ponctuelle très localisée. Par rapport à la spectroscopie Auger conventionnelle, ces objectifs imposent des contraintes inédites relatives à la soustraction du fond continu, à la variation spatiale du coefficient de rétrodiffusion Auger, r et à la gestion d'un nombre significatif de données. De plus les artefacts liés à la topographie de la surface posent des problèmes plus délicats à résoudre.