金属間化合物FeAlおよびFeAl（Cr）の塩酸水溶液中におけるアノード分極特性

摘要

半導体シリコンウエハーの製造において種々の反応性?腐rn食性高圧ガスが使用されている。不純物の混入や腐食を避けrnるために容器バルブの材質としてはSUS316やSUS316Lがrn主に用いられている。このバルブを圧力容器に取り付けるたrnめの接合ネジ部分には，通常それぞれの材料が凝着しないよrnうにテフロン製のシールテープが巻きつけられる。