МОЛЕКУЛЯРНО-ДИНАМИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ ВОЗДЕЙСТВИЯ НА КРЕМНИЙ ИОНОВ ИНЕРТНЫХ ГАЗОВ НИЗКОЙ ЭНЕРГИИ

摘要

Моделирование воздействия ионов инертных газов (Не, Ne, Аг, Кг, Хе) с энергией 50-500 эВ на кристаллический кремний проводилось методом молекулярной динамики с накоплением повреждений. На основании выполненного анализа структурных изменений приповерхностных слоев материала продемонстрированы существенные различия в механизмах повреждения кремния легкими и тяжелыми частицами. Показано, что при воздействии на материал ионов Хе и в особенности ионов Не внедренные в материал атомы образуют наиболее крупные кластеры.