ФАЗОВЫЕ ПРЕВРАЩЕНИЯ И АВТОЭМИССИОННЫЕ СВОЙСТВА АЛМАЗОГРАФИТОВЫХ СТРУКТУР ПРИ ИОННОЙ ИМПЛАНТАЦИИ АЗОТА

摘要

Исследованы корреляционные закономерности изменений структурно-фазового состава, морфологических и автоэмиссионных характеристик нанокомпозитных алмазографитовых пленочных структур, полученных в микроволновой плазме паров этанола, в зависимости от дозы облучении ионами азота с энергией 20 кэВ. Обнаружены оптимальные дозы ионной имплантации, при которых максимальные плотности автоэмиссионных токов значительно увеличиваются по сравнению с необлученными структурами. Рассмотрены физико-химические механизмы, ответственные за модификацию поверхностных и приповерхностных свойств алмазографитовых структур при ионной имплантации азота.