СОСТОЯНИЕ ДЕЛ И ПЕРСПЕКТИВЫ РАЗВИТИЯ МНОГОСЛОЙНОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ОПТИКИ В ИФМ РАН

摘要

Благодаря современным успехам в области напыления многослойных зеркал и технологии изготовления сверхгладких и сверхточных подложек для зеркал появилась реальная возможность использовать традиционные оптические методы в диапазонах мягкого рентгеновского и экстремального ультрафиолетового излучения. Реализация этой возможности откроет принципиально новые перспективы в нанодиагностике вещества, в микро- и наноэлектронике, микробиологии, астрономии и в других приложениях. Представлены основные направления в области многослойной рентгеновской оптики, развиваемые в ИФМ РАН, и рассмотрены аспекты ее применения в науке и технике. Обсуждаются основные проблемы, возникающие при изготовлении многослойных интерференционных структур для диапазонов мягкого рентгена и экстремального ультрафиолета. Приводятся основные результаты, полученные в последнее время в рамках каждого направления. Обсуждаются планы развития направлений на ближайшее будущее.