机译:用于过程化学分析的可控光发射光谱诊断系统
Department of Electrical Engineering, University of Texas at Dallas, Richardson, Texas 75083-0688, USA;
Verity Instruments, Carrolton, Texas 75007-4887, USA;
Department of Electrical Engineering, University of Texas at Dallas, Richardson, Texas 75083-0688, USA;
electron beam effects; plasma chemistry; plasma diagnostics; plasma sources; plasma-beam interactions;
机译:激光钻孔过程中使用光发射光谱的等离子体诊断
机译:通过扫描电子显微镜与能量分散X射线光谱和电子探针微分分析的扫描电子显微镜对白云石和交叉验证的血浆诊断
机译:HID灯等离子体(IV)的光谱诊断和数值模拟-金属卤化物灯的等离子体诊断II。光学发射光谱
机译:与半导体加工相关的光发射诊断和控制的应用
机译:激光熔覆层的等离子体发射光谱,用于过程控制和激光熔覆NbAl合金的氧化行为。
机译:电子自旋共振光谱与电感耦合等离子体光发射光谱对氧化铁纳米粒子生物分布分析的比较
机译:光发射诊断与控制在半导体加工中的应用
机译:采用光学发射光谱的等离子体过程控制