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LITHOGRAPHIC APPARATUS, METROLOGY SYSTEMS, ILLUMINATION SWITCHES AND METHODS THEREOF

机译:光刻设备,计量系统,照明开关及其方法

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摘要

A system includes an illumination system, an optical element, a switching element and a detector. The illumination system includes a broadband light source that generates a beam of radiation. The dispersive optical element receives the beam of radiation and generates a plurality of light beams having a narrower bandwidth than the broadband light source. The optical switch receives the plurality of light beams and transmits each one of the plurality of light beams to a respective one of a plurality of alignment sensor of a sensor array. The detector receives radiation returning from the sensor array and lo generate a measurement signal based on the received radiation.
机译:系统包括照明系统,光学元件,开关元件和检测器。照明系统包括产生辐射束的宽带光源。分散光学元件接收辐射束,并产生比宽带光源更窄的带宽的多个光束。光学开关接收多个光束,并将多个光束中的每一个传输到传感器阵列的多个对准传感器中的各个一个。检测器接收从传感器阵列返回的辐射,并且基于接收的辐射产生测量信号。

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    《Research Disclosure》 |2020年第676期|1490-1514|共25页
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