蘭ASM 中国·南京に事業所開設TSMCに露光装置供給な どで

摘要

半導体露光装置の世界最大手、オランダのASMLが中国江蘇省南京市に事業所を開設した。 同市には世界最大のファウンドリ企業である合湾TSMC(台積電)が300ミ リウエハーファブを建設中で、18年には16ナ ノ メー トルプロセス技術による半導体生産を開始する予定。ASMLは来月、TSMCの南京工場に露光装置とサービスの供給を開始する。