高性能MFモジュール紹介堀場エステック

摘要

HORIBAグループで分析計、流量測定装置の流体計測•制御機器などの半導体システム機器事業を担当している堀場エステックは、世界シェアが50%を超える半導体製造プロセスに欠かせない流体計測•制御機器「マスフローコントローラ(MFC)」でドライプロセス用に差圧検出方式を採用、プラスマイナス1%S. P.の高精度と0.8秒以内という高速応答の最先端プロセス向け新製品ガス流量測定用高性能マスフロー(MF)モジュール「D500シリーズ」を紹介した。