装置各社の中国市場取り組み2「セミコンチャイナ2019」に見るSPM薬液コスト削減枚葉洗浄装置を紹介

摘要

東京エレクトロンは、5月から販売開始する枚葉洗浄装置「CELLESTA Pro SPM」をiPadを使って紹介した。Pro SPMは、同社初の硫酸と過水を混合した薬液で、洗浄またはウエツトエッチング処理するSPM処理が可能な枚葉洗浄装置。窒化チタン(TiN)膜やタングステン(W)膜に対して、選択比を制御したウエットメタルエツチング、Post CMP Clean(CMP工程後洗浄)、Post Ash Clean(アツシング工程後洗浄)に使用する。