微細な低抵抗配線の高速描画に成功

摘要

これまでの工業用インクジェット技術で、微rn細パターンの描画を行うには、吐出インク液滴rnのサイズを微細化するためインクの粘度や表面rn張力の調整を行うと同時に、基板表面処理や微rn細マスクパターンを形成するプロセスが必要で、rn実用的には30～50μm程度の線幅が限界でしrnた。