机译:基于新型流体平面驱动器的台式机床的XY工作台
Institute of Production Engineering and Machine Tools Leibniz Universität Hannover">(1);
Institute of Production Engineering and Machine Tools Leibniz Universität Hannover">(1);
Direct drive; XY-table; Aerostatic guide; Micro milling;
机译:基于新型流体平面驱动器的台式机床的XY工作台
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