Die Stabilität und das Messverhalten von SnO_2-Sensoren, die mit keramischen Si-B-C-N-Lagen beschichtet waren, wurden untersucht. Die Abscheidung der polymerabgeleiteten keramischen Si-B-C-N-Membranen erfolgte durch Tauchbeschichten der SnO_2-Sensoren mit einer Lösung des präkeramischen Polymers (Polyorganoborsilazane) und anschließende Pyrolyse in Argon bei 800℃ für 2 h. Es wurden amorphe mikroporöse Überzüge erzeugt.
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