触針式表面性状校正装置にみる最新技術と不確かさ解析

摘要

1．はじめに表面性状は，例えばエンジンボア内や工作機械のしゅう動面等，自動車や産業機械の性能や機能に影響を及ぼす重要な幾何学量である．これを用いて製品の加工プロセスの管理などを行っている．また，産業界においては，ISO9000シリーズの導入により，品質システム審査における計測標準へのトレーサビリティが要求されている．表面性状のトレーサビリティを確保するために，校正された標準片が必要である．2004年に，表面性状のJapan Calibration Service System（JCSS）の技術的要求事項適用指針が作成され，国内の認定校正機関による標準片の校正サービスが可能となった．現在は，認定校正機関が立ち上がり，標準片の校正サービスが開始されている．