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机译:在含有八甲基环四硅氧烷蒸气的干燥空气中通过直流电晕放电对二氧化硅进行化学气相沉积:沉积速率的测量
Department of Chemical Engineering, California Institute of Technology, Pasadena, CA 91125;
corona plasma; corona-enhanced chemical vapor deposition (CECVD); octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS); electrostatic precipitator;
机译:在含有八甲基环四硅氧烷蒸气的干燥空气中通过直流电晕放电进行二氧化硅化学气相沉积的整体模型
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机译:1含八甲基环四硅氧烷蒸气的干燥空气中直流电晕放电二氧化硅化学气相沉积的全球模型