机译:利用半交联负阻显影剂的渗透性进行嵌入式微结构加工
DepartmentofMicroEngineering,GraduateSchoolofEngineering,KyotoUniversity,Yoshida-Honmachi,Sakyo-ku,Japan;
Chemically amplified resist; UV lithography; cross-linking reaction; embedded microchannels; microelectromechanical systems (MEMS); microfluidics; photoresist; polymer microstructures; three-dimensional microfabrication;
机译:整体式3D多孔二氧化硅微结构的便捷制造以及嵌入该微结构的微流体系统
机译:基于三维印刷嵌入式通道的电阻应变传感器:制造和实验表征
机译:三维印刷嵌入式通道基电阻应变传感器:制造和实验表征
机译:用于使用负厚膜抗蚀剂的显影剂渗透性的微流体装置的嵌入式双层微通道制造
机译:(A)合成具有精确长度和组成的共轭低聚物; (B)用于负性抗蚀剂的烷基磺酰基三氯硅烷; (C)将单壁碳纳米管与二胺连接。
机译:从微观结构特征评估水泥材料电阻率和氧扩散系数
机译:使用负厚膜抗蚀剂的显影剂渗透性的微流控设备嵌入式双层微通道制造