マイクロ•スラリージェット•エロージョン試験による薄膜や表面処理の材料機械的特性評価

摘要

ものつくりは軽薄短小化の方向性が顕著で薄膜技術や表面処理技術が多用されていてますますその進化が求められている。この進化を担う評価技術は材料分析系と機械的特性系の二つがあるが機械的特性の高分解能な試験法に遅れが生じている。筆者らが新たに開発したマイクロ·スラリージェット.エロージョン（以下，MSE)試験法はナノサイズ分解能を実現し，表面から内部までの連続強さ分布と硬くて脆いなどの2面性特性を可視化できる特徴的な評価法になった。本稿では試験法と多層膜である塗装などを題材に評価の内容を解説する。%Mono-Tsukuri (manufacturing) is significantly moving towards miniaturization, therefore advanced technologies in thin film and surface finishing are frequently needed. Evaluation technologies for this advanced technology consist of material analysis and mechanical properties but lack high resolution. The authors have achieved nanosized resolution from a newly developed MSE test method that visualizes binary mechanical properties such as hard but brittle and delegated distribution of surface to interior. In this paper, the details of the evaluation test method and multi-layer coating such as painting are discussed.