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机译:通过激光诱导背面湿蚀刻(LIBWE)在石英玻璃上蚀刻最大纵横比为60的微型沟槽
Photonics Research Institute, National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Central 5, 1-1-1 Higashi, Tsukuba, Ibaraki 305-8565, Japan;
laser-induced backside wet etching; LIBWE; microetching; microfabrication; silica glass; high aspect ratio; micro-trench; pyrene/acetone solution; KrF excimer laser;
机译:金属激光诱导的背面湿法蚀刻技术对熔融石英纤维的蚀刻
机译:热等离子体对激光诱导硅酸盐玻璃背面湿蚀刻的影响
机译:激光诱导的背面湿法刻蚀可弯曲的3D石英玻璃深层微观结构
机译:用激光诱导的背面湿法刻蚀(LIBWE)将定点染料沉积到熔融石英微图案上
机译:使用准分子激光(248 nm)对硼硅酸盐玻璃进行微加工,并通过激光诱导对石英进行背面湿蚀刻。
机译:通过组合激光诱导的背面湿法蚀刻和激光诱导的化学液相沉积方法将耐用的微铜图案沉积到玻璃中
机译:由激光诱导的背面湿法蚀刻(Libwe)制造的硅玻璃上的深微沟。