Подход к совмещению фрагментов цифровых изображений слоев кристалла интегральной микросхемы на базовом матричном кристалле

摘要

В статье рассмотрен подход к совмещению фрагментов цифровых изображений (ЦИ) слоев кристалла интегральной микросхемы на базовом матричном кристалле, основанный на использовании элементов ЦИ, содержащих контакты, для оценки параметров, позволяющих точнее позиционировать фрагменты изображения относительно друг друга в процессе их совмещения и корректировать ряд свойственных подобным ЦИ искажений.%An article describes an approach to combining digital image fragments of layers of an integrated circuit crystal chip on a basic matrix crystal, based on the use of digital image elements containing contacts for estimating parameters that allows to place image fragments relative to each other in the process of combining them and correct a number of characteristic features similar to digital image fragments distortion.