一層型SGT，積層型SGTを用いたシステムLSIのパターン面積の比較検討

摘要

一層型SGT，積層型SGTを用いて設計したインバータ，NAND等の簡単な論理回路と，1ビッrnトフルアダーのパターン面積の比較を行った．積層型SGTの導人によりインバータ，NAND等のパターン面積rnは縮小し，その効果は人力数が少なく，チャネル幅が短いほど顕著になる．フルアダーでもパターン面積は縮小rnするが，回路方式により，縦幅，横幅の縮小効果が異なる．