マイクロギャップ放電に伴う過渡電圧・電流立上り波形の12GHz帯域測定と電極間電界強度特性

摘要

ESD（静電気放電）あるいは電気接点放電などのうち，おおよそ1000V以下程度の比較的に低い 電圧によって生じるマイクロギャップ放電に着目して実験的な検討を行った．実験は，放電開始時の急しゅんな 過渡電圧及び電流の立上り特性について時間領域にて測定した．更に，測定により得られた立上り時間特性の過 渡要因を考察するため，放電時のギャップ長特性について測定を行い，放電開始時の電極間電界強度を求めた． 測定のための実験系は，マイクロギャップ放電に伴う過渡変動が非常に急しゆんであることを考慮して分布定数 系で構成し，放電電極部分の周波数帯域を12GHzまで吟味し，広帯域での測定を行った．実験の結果，放電電 圧600V以下においては，電圧及び電流の立上り時間は32ps以下と12GHzの帯域に迫る超高速現象であるこ とを確認した．また，放電開始時のギャップ間電界強度は，放電電圧が450Vから低下するに従いギャップ間の 電界値は上昇し，放電電圧約330Vにおけるギャップ間の電界は8×10~7［V/m]に達することを確認した．