MgO∶LiNbO_3周期分極反転構造電気光学ブラッグ偏向型一次元空間光変調器

摘要

我々はレーザディスプレイやレーザ描画装置等への応用を目指して，新たにMgO添加LiNbO_3(MgO∶LN)周期分極反転構造電気光学(EO)ブラッグ偏向型光変調器を用いた一次元空間光変調器を実証した.周期分極反転MgO∶LNを用いたEOブラッグ偏向型光変調器を作製し，変調特性の評価を行った.分極反転後に結晶アニーリングを行うことにより変調時の緩和現象が低減できることを見出した.青紫色レーザ光を用いた変調実験において最大回折効率97%を得た.紫外レーザ光(波長325nm)を用いて方形電圧による透過光・回折光パワーの変調が確認できた.また，この変調器を画素として配列した一次元空間光変調器を作製した.一次元回折光強度パターンが得られ，空間変調の基本動作が確認できた.