机译:化学传感器与LSI技术的集成-历史和应用-
Institute of Industrial Sciences, TheUniversity of Tokyo, Tokyo, 153-8505 Japan.,Presently, with Research Center for Advanced Science andTechnology, The University of Tokyo;
Research Center for Advanced Scienceand Technology, The University of Tokyo, Tokyo, 153-8505 Japan;
Institute of Industrial Sciences, TheUniversity of Tokyo, Tokyo, 153-8505 Japan.,Presently, with Research Center for Advanced Science andTechnology, The University of Tokyo;
chemical sensors; MEMS technology; MEMS LSI integration; monolithic integration; wireless sensors;
机译:用于生化传感器应用的互补金属氧化物半导体芯片上的硅纳米线场效应晶体管阵列的单片集成
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