弾性表面波を用いた靎化琭象の実騳的検討

摘要

弾性表面波（SAW）を用いて極微小なrn液滴を生成する現象，すなわち霧化現象は，薄膜作成rnへ応用可能である．本論文では実験に基づき霧化現象rnを検討した．その結果，霧化は薄い液膜状態で生じてrnいること，低電圧でも霧化可能であることが明らかにrnなった．