双音さ形結合子を用いた圧電AlN対称伸び円板振動子

摘要

二つの圧電AlN円板振動子を，双音さ形結合子を用いて接続することにより，接続後も二つ振動子は基本モードで対称伸び振動することを，有限要素法解析で明らかにした.また，Si基板上に，MEMSプロセスを用いて，双音さ形結合子を用いたAlN対称伸び円板振動子を作製し，電気特性を測定した結果，共振周波数59.1MHzにおいて等価直列抵抗25.9Ω,Q値2,720，電気機械結合係数2.22%の良好な共振特性が得られた.