パワーデバイス開発動向

摘要

Power semiconductor devices are widely used as energy saving devices in various power electronics apparatus, such as inverter home appliances, hybrid electric vehicles, and Shinkansen bullet trains. This paper presents an overview of the present status and future prospects of power semiconductor devices, which include Si-IGBTs, Super Junction MOSFETs and SiC power devices.%インバータ家電からハイブリッド自動車、新幹線など多くのパワーエレクトロニクス応用機器に使われ、社会インフラを支える省エネ・環境保全のキーデバイスとしてますますパワーデバイスの重要性が高まってきている。本稿では、Si-IGBT、スーパージャンクションMOSFET、SiCパワーデバイスなどのパワーデバイスの現状技術と将来展望について解説する。