RF領域におけるベクトルネットワークアナライザの残留不確かさ評価

摘要

Air line are useful for the evaluations of residual elements in vector network analyzer measurements. However, air line length should be longer than the wavelength at the measurement frequencies in the evaluation methods using air line. Then, evaluation using air line cannot achieve the residual evaluation at RF frequencies. New evaluation methods using standard terminations with known-characteristics can calculate the residual elements and their uncertainties in VNA measurement at RF frequencies. According to this method, residual elements are vector values and then they can be corrected from VNA measurement results. The uncertainties of residual elements are calculated by propagation from uncertainties of standard terminations.%ベクトルネットワークアナライザの残留要素評価方法には、同軸標準線路（エアライン）を用いたリップル法やベクトル法が用いられている．しかし、エアラインを用いる方法では、測定周波数に比べて長いエアラインを必要とする。そのため、1GHzのRF領域ではこれらの方法を用いることができない。そこで、エアラインを用いないRF領域でもVNAの残留要素評価が可能な新たな方法として、校正されたデバイス群を標準器として用いた評価方法を提案する。この方法では、VNAの残留方向性、残留不整合と残留トラッキングがベクトル量として求めることができるので、これらをVNAの測定結果から補正することも可能である。このとき、求めた残留成分の不確かさは用いた標準器群の不確かさにより決定される。