ナノ粒子散布による微細光学素子形状のSEM測定

摘要

Optical elements for display are required more complex control of the incident light, therefore measurements and evaluations of three-dimensional surface shape become more important. However conventional measurement methods of the surface shape can't measure samples with very flat surface or steep slope accurately. In this study, we try to measure three-dimensional shape with SEM more accurately by making fine pattern with scattering nanoparticles. As a result, we show the relation between the magnification of the nanoparticles and the accuracy of the measurement, and confirm the validity of the measurement.%近年ディスプレイに用いられる光学素子にはより高度な制御が求められ、その表面形状の3次元的な測定評価の重要性が増している。しかし従来の表面形状測定装置では、表面が非常に平滑で急峻な傾斜部を有するサンプルを測定することは困難である。そこで本研究ではナノ粒子散布により光学素子表面に微細な凹凸パターンを付与することで、走査型電子顕微鏡（SEM）を用いた3次元形状測定の精度改善を試みた。その結果、倍率と測定精度の関係に対してナノ粒子の付着量が与える影響を明らかにし、正確な測定がおこなえることを確認した。