周期分極反転MgO：LiNbO_3を用いた電気光学ブラッグ偏向型光変調器

摘要

For realization of laser-beam lithography and display systems, we propose an one-dimensional spatial light modulator consisting of electro-optic Bragg deflection modulators using periodically poled MgO:LiNbO_3 for the first time. It was found that annealing the device after the poling process was effective for reducing the relaxation phenomena. The maximum diffraction efficiency as high as 97% was obtained for the violet-blue light. Also, the modulation of the UV light was accomplished.%我々はレーザ描画装置やレーザディスプレイ等への応用を目指し、新たに周期分極反転MgO:LiNbO_3を用いた電気光学（EO）ブラッグ偏向型光変調器による1次元空間光変調器の実現を検討している。分極反転プロセス後に結晶アニーリングを行うことにより、EOブラッグ偏向型光変調器の緩和現象を低減できることを見出した。青紫色レーザ光を用いた変調実験において、最大回折効率97％を得た。また、紫外レーザ光を用いたときの変調器の基本動作が確認できた。