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机译:用光栅波导光腔读出悬臂弯曲
Integrated Optical MicroSystems (IOMS) group, MESA+ Institute for Nanotechnology, University of Twente, Enschede, the Netherlands;
Cantilever; TMAH; grated waveguide (GWG); hydrogen sensor; reactive ion etching (RIE);
机译:集成机械光氢气传感器,使用悬臂弯曲读数和Si_(3)N_(4)光栅波导
机译:利用光学光栅波导腔进行片上体积指数浓缩和直接,无标签的蛋白质感测
机译:适用于悬臂传感器阵列的高灵敏度共振光学读出方法的模型与分析
机译:基于光栅波导悬臂腔共振的光学读出方案,用于询问悬臂传感器阵列
机译:建模光波导弯曲及其在等离激元极化波导中的应用。
机译:集成光波导曲率传感器的双向弯曲软执行器的制作与动力学建模
机译:采用光栅波导光学腔的悬臂偏转读出