Halbautomatisches 3D-Messsystem mit berührungsloser, optischer Metrologie für Form- und Oberflächenmessungen

摘要

Die ISIS sentronics GmbH in Mannheim hat mit dem i-Dex ta ein neues Messsystem mit berührungsloser, optischer Metrologie für 3D-Mikro-Topographien und 2D-Rauheiten an der Oberfläche entwickelt. Die Messtechnik basiert auf dem Verfahren der Weiß-lichtinterferometrie und liefert präzise topographische Ergebnisse mit Genauigkeiten von mindestens zehn Nanometer und Rauheiten bis hinunter in den Nanometerbereich. So können mit dem Sensor Erhebungen und Vertiefungen erfasst werden, welche selbst mit hochauflösenden Mikroskopen nicht mehr quantifizierbar sind.