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Restgasanalysen in Vakuumsystemen

机译:真空系统中的残留气体分析

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摘要

Fuer eine effiziente Restgasanalyse in Vakuumsystemen hat der Vakuumspezialist Leybold kuerzlich Leyspec gelauncht. Die Produktreihe ist in sechs Varianten erhaeltlich und damit geeignet fuer alle grundlegenden und erweiterten Restgasanalyseverfahren in anspruchsvollen Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen. Durch ihre kompakte Groesse und flexible Montierbarkeit dient sie unterschiedlichen Einbausituationen und Messaufgaben in der Forschung und Industrie. Ausgestattet mit einem integrierten Display laesst sich die Produktreihe einfach und ergonomisch bedienen: Per Knopfdruck koennen sich Anwender etwa die Partialdruecke der relevanten Gase jederzeit anzeigen lassen. Ist der Anwender an einem zusaetzlichen Gas in seinem Prozess interessiert, laesst sich ein weiterer Kanal individuell damit belegen. Die Software, die ein Bestandteil des Produktangebotes ist, unterstuetzt die komfortable Bedienbarkeit der Modelle und ermoeglicht zudem eine breite Palette von Anwendungen - von einfachen Operationen bis hin zu komplexen Analysen. Angezeigt wird immer der Gesamtdruck; den Usern werden dabei unterschiedliche Analysemoeglichkeiten angeboten, aus denen ausgewaehlt werden kann. So sind zusaetzliche Pruefverfahren und Funktionalitaeten vorinstalliert, wie etwa der Heliumlecktest oder das Einstellen von Warnungen und Fehlergrenzwerten fuer bestimmte Gase. Einfache Gasanalysen lassen sich durchfuehren, ohne das Geraet an einen Computer anzuschliessen. Mit Blick auf die Restgasanalyse haelt die Produktpalet- te, je nach Prozessanforderung, Loesungen fuer 100, 200 oder 300 amu (atomare Masseneinheiten) bereit: Die Ausfuehrung Leyspec view eignet sich schwerpunktmaessig fuer Restgasanalysen in Hochvakuum-Pumpstaenden, in Forschungs- und Entwicklungs-Anwendungen sowie fuer Umwelt- und Gasverunreinigungs-Analy-sen. Dagegen ist die ultra Variante eher fuer anspruchsvolle Restgasanalysen mit hoeherer Empfindlichkeit, die zuverlaessige Erkennung von sehr niedrigen Partialdrue-cken sowie fuer hoehere Ausheiztemperaturen ausgelegt.
机译:真空专家Leybold最近推出了Leyspec,用于真空系统中的有效残留气体分析。产品范围有六个变体,因此适用于要求高和超高真空应用的所有基本和扩展的残留气体分析过程。由于其紧凑的尺寸和灵活的可安装性,它可以满足研究和工业中不同的安装情况和测量任务。配有集成显示器,产品范围可以轻松,符合人体工程学地进行操作:只需按一下按钮,用户就可以随时显示相关气体的分压。如果用户对其过程中的其他气体感兴趣,则可以单独分配另一个通道。该软件是产品范围的一部分,不仅支持模型的易用性,还支持广泛的应用程序-从简单的操作到复杂的分析。总压力始终显示;为用户提供了不同的分析选项供您选择。预先安装了其他测试程序和功能,例如氦气泄漏测试或某些气体的警告和错误限制设置。无需将设备连接到计算机即可进行简单的气体分析。考虑到残留气体分析,根据工艺要求,产品范围可提供100、200或300 amu(原子质量单位)的解决方案:Leyspec视图版本主要适用于研发应用中的高真空泵站中的残留气体分析以及用于环境和气体污染分析。相比之下,ultra变型设计用于具有更高灵敏度的苛刻残留气体分析,非常低的分压的可靠检测以及更高的烘烤温度。

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  • 来源
    《UmweltMagazin》 |2019年第2期|27-27|共1页
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