Badania rozkładu współczynnika załamania polimerowych struktur mikrooptycznych za pomocą systemu tomografii interferencyjnej

摘要

W artykule przedstawione zostały wyniki pomiarów zintegrowanego dwuwymiarowego rozkładu współczynnika załamania (projekcji) elementów optycznych wykonanych za pomocą niskonakładowych technologii wytwarzania. Pomiar polega na analizie rozkładu fazy wiązki światła przechodzącej przez badaną próbkę. Do wyznaczenia rozkładu współczynnika załamania zastosowany został dedykowany algorytm kompensujący wpływ kształtu powierzchni na wynik pomiaru. Skorygowane projekcje stanowią dane wejściowe do rekonstrukcji tomograficznej n(x,y,z). Wyniki pomiarów są punktem wyjścia do zaprojektowania nowej generacji niskonakładowych układów mikrointerferometrycznych.%In this paper we present the recent results of the integrated 2D refractive index distribution (projections) measurements of high aspect ratio optical structures made with low-cost fabrication techniques. Measurements methodology base on 2D integrated phase measurements by means of interferometric method. Phase distribution measurements were followed by dedicated algorithm of refractive index determining. The corrected projections captured for multiple angular position of an object are the basis for 3D tomographc reconstruction of refractive index n(x,y,z). Presented measurements play an important role in the proper modeling of the new family of low-cost microinterferometric systems .