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机译:关于c-C4F8和c-C4F8 / N2混合物替代SF6的分解过程的见解
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机译:包含SF6,CO,c-C4F8和SF6,N2,c-C4F8的混合气的介电强度
机译:从电子传输参数研究CF3I / c-C4F8 / N2和CF3I / c-C4F8 / CO2气体混合物的性能
机译:用c-C4F8 / CO2替代SF6作为低E / N(<400 Td)的绝缘介质
机译:校正使用SF6 / C4F8 / Ar气体混合物进行深硅蚀刻时的长宽比依赖性。
机译:关于c-C4F8和c-C4F8 / N2混合物替代SF6的分解过程的见解
机译:极其非均匀电场C-C4F8 / N2气体混合物的AC击穿特性