Supervisión Y Control De Una Estación De Reflectometría VIS NIR Basada En Nanoposicionadores Y Software Labview

摘要

120 1920x1200 Normal 0 false false false EN-US X-NONE X-NONE Se diseñó e implementó un sistema de supervisión y control de una estación de reflectometría VIS y NIR, basado en nano posicionadores e interfaz LabVIEW. Se desarrolló un banco para medir la intensidad, estado de polarización y dispersión del patrón de radiación VIS y NIR monocromática reflejada en superficies semiconductoras bajo diferentes ángulos de incidencia, que permita caracterizar las constantes dieléctricas y rugosidad. Para obtener la configuración geométrica deseada entre la superficie muestra, el haz de diodo láser, el fotodiodo (Si, InAsGa) y de polarizadores Glan Taylor, los componentes se desplazan linealmente y rotan con motores de micro pasos y piezoeléctrico. La supervisión y control se hace con software LabVIEW TM , que permite, a partir de la HMI (Human Machine Interface), la comunicación con el usuario. La comunicación con los componentes de manipulación y detección se realiza con tecnología ActiveX y una tarjeta National Instruments (NI). El sistema permite pasos de 30 nm en un rango de 4 mm, resolución de 1 arcosegundo en un rango de 360 _ , velocidades de 2 mm/s y 15 _ /s, la protección del equipo, generación de datos en tiempo real y análisis estadístico. Se obtuvo un banco modular para varias configuraciones de alto desempeño y fácil acople mecano-óptico con componentes.   120 1920x1200 Normal 0 false false false EN-US X-NONE X-NONE We designed and implemented a system of monitoring and controlling of a VIS and NIR reflectometry station based on nano positioners and LabVIEW interface. A bench was developed to measure the intensity, polarization state and dispersion pattern of VIS and NIR monochromatic radiation reflected by dielectric or semiconductor surfaces under different angles of incidence to characterize the dielectric constants and roughness. To obtain the desired geometric configuration between the sample surface, the beam of laser diode, the photodiode (Si, InAsGa) and Glan Taylor polarizers, the components have linear motion and rotation with motors of micro steps and piezoelectric. The supervision and control is done with LabVIEW TM software that allows, from the HMI (Human Machine Interface), communication with the user. Communication with the components of manipulation and detection is performed with the ActiveX technology and National Instruments (NI) card. The system allows 30-nm steps over a range of 4 mm, resolution of 1 arcsecond in the range of 360 _ , speed 2 mm/s and 15 _ /s, equipment protection, real-time data generation and display and statistical analysis. A modular bank was obtained for various configurations based on high performance, low cost and easy optical-mechanic coupling of components.