ОПРЕДЕЛЕНИЕ ОПТИМАЛЬНОГО ВРЕМЕНИ ОБЛУЧЕНИЯ МОНОКРИСТАЛЛОВ КРЕМНИЯ ПРИ НЕЙТРОННО-ТРАНСМУТАЦИОННОМ ЛЕГИРОВАНИИ ФОСФОРОМ

摘要

Представлены соотношения для возможного варианта расчета времени облучения и отбора кремния электронного, дырочного и смешанного типов проводимости с учетом неоднородности плотности потока нейтронов и распределения фосфора в исходном материале с целью получения минимальных отклонений от номинала заданного удельного сопротивления. В качестве критерия определения оптимального времени облучения использовано равенство экстремальных отклонений от номинала.