FABRICATION OF THE MEMBRANES ON A SILICON BASE FOR THE SENSORS WITH THE ULTRASONIC WAVES LAMBA-TYPE GENERATED BY USING THE INTERDICITAL TRANSDUCERS

J. GOLEBIOWSKI

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FABRICATION OF THE MEMBRANES ON A SILICON BASE FOR THE SENSORS WITH THE ULTRASONIC WAVES LAMBA-TYPE GENERATED BY USING THE INTERDICITAL TRANSDUCERS

机译：超声波跨膜传感器产生的超声波波朗姆型传感器在硅基上的膜制备

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The construction of the microsensor with the ultrasonic wave of Lamba-type as well as the conditions of the wave propagation are presented. The possibilities of the fabrication of multi-layer membranes on a silicon base using the microelectronics technologies are presented and discussed. The analysis of the usefulness of the processes mentioned for the production of thin membrane sensors was carried out taking into consideration intrinsic stresses.

机译：介绍了具有兰巴型超声波的微传感器的结构以及波传播的条件。介绍并讨论了使用微电子技术在硅基底上制造多层膜的可能性。考虑到内在应力，对上述用于生产薄膜传感器的方法的有用性进行了分析。

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来源
《Archives of acoustics》 |2000年第4期|p.479-486|共8页
作者
J. GOLEBIOWSKI;
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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类声学;
关键词

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