机译:使用共振微桥的基于应力的蒸汽感测
Center for Materials Research, Cornell University, Ithaca, New York 14853, USA;
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机译:勘误表:“使用共振微桥的基于应力的蒸气感测” [Appl。物理来吧96,163503(2010)
机译:使用共振微桥的基于应力的蒸汽感测
机译:直接在共振微悬臂上构建的超支化传感聚合物,用于检测痕量化学蒸气
机译:集成谐振微桥蒸气传感器
机译:压电MEMS,用于声音感应,非接触式RF开关和共振质量感应。
机译:微带共振传感器用于区分蒸气混合物中的组分
机译:硅片上等离子体增强化学气相沉积氧化硅膜的微桥测试