MEMS resonators; VOCs; temperature sensitivity; CMOS-MEMS; gas sensors;
机译:用于气体传感的CMOS-MEMS谐振器中嵌入式微加热器和温度传感器的特性
机译:用于气体传感的CMOS-MEMS谐振器中嵌入式微加热器和温度传感器的特性
机译:使用机械谐振器对流体流进行集成的在线多传感
机译:研究耦合谐振器阵列中结构对称性对CMOS-MEMS振荡器的频率稳定性的影响
机译:亚纳质量负载的CMOS-MEMS悬臂谐振器振荡器,用于气体检测。
机译:T淋巴细胞在LFA-1介导的迁移过程中与流体流动方向相反
机译:流体流动对燃气感应的CMOS-MEMS谐振器的影响
机译:用于工业应用的流体流量传感器。南安普顿大学传感器技术研究所为期一天的座谈会,传感器更新:气体和液体流量传感。 1990年3月30日在南安普敦举行