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Multipurpose Polymer Bragg Grating-Based Optomechanical Sensor Pad

机译:基于多用途聚合物布拉格光栅的光机传感器垫

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摘要

Flexible epoxy waveguide Bragg gratings are fabricated on a low-modulus TPX™ polymethylpentene polyolefin substrate for an easy to manufacture and low-cost optomechanical sensor pad providing exceedingly multipurpose application potentials. Rectangular EpoCore negative resist strip waveguides are formed employing standard UV mask lithography. Highly persistent Bragg gratings are inscribed directly into the channel waveguides by permanently modifying the local refractive indices through a well-defined KrF excimer laser irradiated +1/-1 order phase mask. The reproducible and vastly versatile sensing capabilities of this easy-to-apply optomechanical sensor pad are demonstrated in the form of an optical pickup for acoustic instruments, a broadband optical accelerometer, and a biomedical vital sign sensor monitoring both respiration and pulse at the same time.
机译:柔性环氧波导布拉格光栅是在低模量TPX™聚甲基戊烯聚烯烃衬底上制造的,具有易于制造和低成本的光机械传感器垫,具有超强的多功能应用潜力。矩形EpoCore负性抗蚀剂条形波导采用标准的UV掩模光刻技术形成。通过使用定义明确的KrF受激准分子激光照射的+ 1 / -1阶相位掩模永久性地修改局部折射率,可以将高度持久的布拉格光栅直接刻在通道波导中。这种易于应用的光机械传感器垫具有可再现且用途广泛的传感功能,以声学仪器的光学拾波器,宽带光学加速度计以及同时监测呼吸和脉搏的生物医学生命体征传感器的形式进行了演示。 。

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