薄膜铂热电阻元件的应用及发展

摘要

铂热电阻的发展，在很大程度上取决于其核心部件——铂热电阻元件的发展。从传统的云母、陶瓷、玻璃铂热电阻元件到后来出现的厚膜和薄膜铂热电阻元件，铂热电阻元件的发展方向已转移到膜式结构的产品上．尤其是薄膜铂热电阻元件。我国从1974年引入薄膜技术研发薄膜铂热电阻元件，成功解决铂热电阻元件的成本及应用问题起．至今已有30多年的历史，