数字式智能集成水位传感器的研究

摘要

在玻璃体表面用等离子体溅射形成的TiN薄膜具有优异的机械性能,TiN膜上的显微硬度可达20000N/mm2,电阻率仅为68×10-6Ω·cm,作为电容式水位传感的电极显示出很好的优势.用水位作为主传感、温度为环境补偿传感,在MCU里面记录传感元的数据和补偿特性,形成数字集成结构.智能补偿措施实现了高精度水位变送.在网络节点连接权向量域进行微弱信号提取,解决了提取信号的频率选择问题.